荷電処理不要のエレクトレット型ＭＥＭＳ環境振動発電素子を開発－無線ＩｏＴ端末の自立電源として期待－

　立命館大学理工学部の山根大輔准教授と千葉大学先進科学センターの田中有弥助教らは、荷電処理が一切不要の自己組織化エレクトレット（SAE）をマイクロ機械構造に集積したエレクトレット型MEMS環境振動発電素子の開発に成功しました。
提案技術を用いることで、これまで未踏であったエレクトレット型MEMS環境振動発電素子と電子回路のモノリシック集積化（ワンチップ化）が可能になります。本成果により、エネルギーハーベスティング技術のキーテクノロジーであるMEMS環境振動発電素子の小型化・高性能化・生産性向上がより加速し、電池・配線・利用環境フリーの次世代自立電源として無線IoT端末などへの導入が期待されます。
本研究成果は、2021年12月20日14時（日本時間）に米国物理学協会が発行する学術雑誌「Applied Physics Letters」に掲載されました。